Question: 二酸化シリコンをどのように分解しますか?

HFを使用して、半導体産業において二酸化シリコンを除去またはパターニングする。通常の条件下では、シリコンはほとんどの酸と反応しないが、フッ酸によって溶解される。シリコンは水酸化ナトリウム水溶液のような塩基によって攻撃されてケイ酸塩を得る。

二酸化シリコンαをどのように除去しますか?

二酸化ケイ素層の一部を除去する方法は、拡散制限エッチングを利用することである。このようなエッチングは二酸化ケイ素層の一部が除去され、二酸化ケイ素層の全体が除去される前に止まる。

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